Комплект приводов для установок выращивания монокристаллов
Предназначен для модернизации установок выращивания монокристаллов кремния типа «Редмет-60» и «Редмет-65» с целью увеличения их производительности.
Приводы выполнены на базе современных серводвигателей.
Применение комплекта приводов позволяет увеличить загрузку шихты до 140 кг с использованием полунепрерывного выращивания (до 5 процессов) с промежуточной дозагрузкой сырья до 300 кг.
В состав комплекта входят:
— привод верхний с камерой переходной;
— привод нижний с поддоном;
— комплект доработки шкафа управления для адаптации приводов к системе автоматического выращивания кристаллов.
Назад в раздел