Затвор вакуумный

Предназначен для герметичного разделения в ростовых установках объемов плавильной и приемной камер, с целью обеспечения дозагрузки тигля в процессе выращивания монокристаллов кремния. Тарелка клапана, седло и корпус затвора – водоохлаждаемые.

Затвор имеет фиксированные крайние положения тарелки клапана и снабжен конечным выключателем, который позволяет заблокировать возможность ускоренного опускания затравки при закрытом затворе.



Технические характеристики

Тип затвора	шиберный, тарельчатый
Условный проход	270 мм
Управление затвором	ручное

Габаритные размеры

Диаметр, мм	750
Высота по присоединительным фланцам, мм	210
Общая высота, мм	548
Масса, кг.	176

Назад в раздел