г. Брянск, бульвар Щорса, 1
td@termotron.ru
+7 (4832) 29-65-75

Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин «ОРЕОЛ-200»

Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин «ОРЕОЛ-200»

Манипулятор - перекладчик предназначен для перекладки полупроводниковых пластин диаметром 150 мм с расширенным набором функций.

  • расположением пластин "лицом" друг к другу ("спина" к "спине") 
  • использованием кассет с неравномерным шагом 
  • использованием экранированных кварцевых кассет 
  • введением ориентации пластин по боковому срезу.









Технические характеристики


Количество перекладываемых пластин50 шт./цикл
Производительностьне менее 20 циклов/час
Время проведения одного цикла перекладкине более 3 мин
Потребляемая электрическая мощность0,05 кВт (max)

Режимы работы

автоматический-
полуавтоматический-
ручной-
Уровень привносимой дефектности на одной пластине, частиц размеромне более 0,1 мкм, на см2 не более 2-3 частиц
Количество приведенных в негодность пластин1/10000 шт.

Габаритные размеры

Длина630 мм
Ширина510 мм
Высота950 мм
Масса60 кг



Назад в раздел





логотип.jpg


      © 2014 АО "Термотрон-завод"
г. Брянск, бульвар Щорса, 1
td@termotron.ru
Телефон:

+7 (4832) 29-65-75

Мы в социальных сетях:

разработано в Магазин готовых сайтов - Веб-Центр

Яндекс.Метрика