Система нейтрализации токсичных отходов скруббер «ОКТАВА-4»

Предназначена для обеспечения экологической чистоты производства интегральных схем в соответствии с требованиями государственных и отраслевых стандартов по безопасности и экологии при работе системы совместно со скрубберами установок (индивидуальными скрубберами), а также (при авариях индивидуальных скрубберов) непосредственно с установками для нейтрализации гибридных газов, хлоридов.

Технические характеристики

Общий объем подаваемого на вход загрязненного воздуха (производительность по очищаемому газу)	не более 6500 м3/час
Количество обслуживаемых установок типа "Оксид", "Изотрон", "Изоплан", "Изоплаз"	не более 18 шт.
Объем очищающей жидкости	1000 л
Потребляемая электрическая мощность	25 кВт (max)
Нейтрализуемые газы	моносилан, дихлорсилан, аммиак, диборан, фосфин, хлористый водород, фреон, трихлорид бора, гексафторид, вольфрама, закись азота и др.
Габаритные размеры	4500х2000х2000 мм
Масса	1500 кг

Назад в раздел